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図解でわかる　半導体製造装置 貸出可

-- 日本実業出版社 -- 2007.4

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
一般資料 549.8 /ﾆﾂ/ 00109965033 図書 貸出可 利用可 iLisvirtual

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マーク種別 JPマーク
マーク番号 21230010
書名 図解でわかる　半導体製造装置
書名ヨミ ｽﾞｶｲﾃﾞﾜｶﾙ ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲｾｲｿﾞｳｿｳﾁ
出版地 東京
出版者 日本実業出版社
出版年 2007.4
頁数・図版 １８２ｐ
大きさ ２１ｃｍ
一般注記 索引あり　菊地正典／監修
ISBN 4-534-04217-5 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
ISBN(新) 978-4-534-04217-0
本体価格 １９００円
NDC分類(8版) 549.8
NDC分類(9版) 549.8
件名 半導体
内容紹介 半導体をつくるための装置である半導体製造装置。本書では、拡散工程から特性検査工程までの各工程で使用される装置の構造、操作原理、技術のすべてを、現場の一流の技術者がわかりやすく徹底図解で解説する。
著者紹介 １９６８年東京大学工学部卒業後、日本電気（株）入社。半導体デバイス・プロセスの開発と生産に従事。２００５年から（社）日本半導体製造装置協会専務理事。

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※内容紹介、著者紹介は（株）日販図書館サービスおよび
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