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    ﾙｸｰﾙﾄﾞﾐﾆｯｸ
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分光エリプソメトリー 貸出可

藤原裕之／著 -- 丸善 -- 2003.6

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
一般資料 425.5 /ﾌｼ/ 00108620988 図書 貸出可 利用可 iLisvirtual

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マーク種別 JPマーク
マーク番号 20441669
書名 分光エリプソメトリー
書名ヨミ ﾌﾞﾝｺｳ ｴﾘﾌﾟｿﾒﾄﾘｰ
著者名 藤原裕之 ／著  
著者名ヨミ ﾌｼﾞﾜﾗ ﾋﾛﾕｷ  
出版地 東京
出版者 丸善
出版年 2003.6
頁数・図版 ２５１ｐ
大きさ ２１ｃｍ
一般注記 文献あり
ISBN 4-621-07253-6 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
NDC分類(8版) 425.5
NDC分類(9版) 433.57
件名 分光化学
内容紹介 分光エリプソメトリーの急速な利用拡大を踏まえ、その理解に必要な基礎、および具体的な測定法・解析法についてわかりやすく解説。評価材料も半導体からバイオ材料まで取り入れ、広範な分野で利用できる入門書。

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※内容紹介、著者紹介は（株）日販図書館サービスおよび
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