日本半導体製造装置協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 2000.11

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫参考 549.8 /ニツ/ 00107551122 図書 持出禁 利用可 iLisvirtual

資料詳細

マーク種別 JPマーク
マーク番号 20119101
書名 半導体製造装置用語辞典
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
著者名 日本半導体製造装置協会 /編  
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ  
版表示 第5版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2000.11
頁数・図版 588p
大きさ 22cm
ISBN 4-526-04666-3 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
NDC分類(8版) 549.8
NDC分類(9版) 549.8
件名 半導体 辞書

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(株)トーハンのデータです。