市川幸美/共著 -- 内田老鶴圃 -- 2003.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫一般 549.8 /イチ/ 00108676787 図書 貸出可 利用可 iLisvirtual

資料詳細

マーク種別 JPマーク
マーク番号 20452795
書名 プラズマ半導体プロセス工学
書名ヨミ プラズマ ハンドウタイ プロセス コウガク
副書名 成膜とエッチング入門
著者名 市川幸美 /共著, 佐々木敏明 /共著, 堤井信力 /共著  
著者名ヨミ イチカワ ユキミ , ササキ トシアキ , テイイ シンリキ  
出版地 東京
出版者 内田老鶴圃
出版年 2003.7
頁数・図版 289p
大きさ 22cm
一般注記 文献あり
ISBN 4-7536-5048-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
NDC分類(8版) 549.8
NDC分類(9版) 549.8
件名 半導体

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