平谷雄二/著 -- コロナ社 -- 2001.10

タグ

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫一般 534.9 /ヒラ/ 00107850539 図書 貸出可 利用可 iLisvirtual

資料詳細

マーク種別 JPマーク
マーク番号 20200305
書名 ビジュアル 真空技術
書名ヨミ ビジュアル シンクウギジュツ
著者名 平谷雄二 /著  
著者名ヨミ ヒラタニ ユウジ  
出版地 東京
出版者 コロナ社
出版年 2001.10
頁数・図版 193p
大きさ 21cm
ISBN 4-339-00736-6 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
NDC分類(8版) 534.93
NDC分類(9版) 534.93
件名 真空工学
内容紹介 半導体デバイスや光学薄膜の作製などに不可欠な技術である真空技術について、基本からビジュアルに解説する。1章では、真空計と質量分析装置、2章では、真空技術の基本公式について説明する。

※内容紹介、著者紹介は(株)日販図書館サービスおよび
(株)トーハンのデータです。