野々垣 三郎/著 -- 丸善 -- 1986.10

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫一般 549.7 /ノノ/ 00102033791 図書 貸出可 利用可 iLisvirtual

資料詳細

マーク種別 JPマーク
マーク番号 87003908
書名 マイクロリソグラフィー
書名ヨミ マイクロ リソグラフィー
副書名 IC,LSIはこうしてつくられる
著者名 野々垣 三郎 /著  
著者名ヨミ ノノガキ サブロウ  
出版者 丸善
出版年 1986.10
頁数・図版 116p
大きさ 19㎝
叢書名・叢書番号 Frontiertechnology・2
ISBN 4-621-03115-5 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks
本体価格 1200円
NDC分類(8版) 549.7

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