資料詳細

図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み製造装置の全体を俯瞰するＨｏｗ－ｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ貸出可

佐藤淳一／著 -- 秀和システム -- 2016.8

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	549.8 /ｻﾄ/	00111558742	図書	貸出可	利用可

マーク種別	JPマーク
マーク番号	22784924
書名	図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
書名ヨミ	ｽﾞｶｲﾆｭｳﾓﾝﾖｸﾜｶﾙｻｲｼﾝﾊﾝﾄﾞｳﾀｲｾｲｿﾞｳｿｳﾁﾉｷﾎﾝﾄｼｸﾐ
副書名	製造装置の全体を俯瞰する
著者名	佐藤淳一／著
著者名ヨミ	ｻﾄｳｼﾞｭﾝｲﾁ
版表示	第２版
出版地	東京
出版者	秀和システム
出版年	2016.8
頁数・図版	２５９ｐ
大きさ	２１ｃｍ
叢書名・叢書番号	Ｈｏｗ－ｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ・
一般注記	文献あり　索引あり
ISBN	4-7980-4726-0
ISBN(新)	978-4-7980-4726-3
本体価格	２０００円
NDC分類(8版)	549.8
NDC分類(9版)	549.8
件名	半導体製造装置
内容紹介	半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで解説した入門書。初版をよりわかりやすくするとともに、半導体製造装置を取り巻く最近の動向などを追加した第２版。
著者紹介	京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年東京電気化学工業（株）入社。８２年ソニー（株）入社。一貫して半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師等を経験。著書「ＣＶＤハンドブック」等。

※内容紹介、著者紹介は（株）日販図書館サービスおよび
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