資料詳細

図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組みリソグラフィ技術の核心に迫るＨｏｗ－ｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ貸出可

佐藤淳一／著 -- 秀和システム -- 2011.10

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	549.7 /ｻﾄ/	00110665243	図書	貸出可	利用可

マーク種別	日販マーク
マーク番号	124554300
書名	図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み
書名ヨミ	ｽﾞｶｲﾆｭｳﾓﾝﾖｸﾜｶﾙｻｲｼﾝﾊﾝﾄﾞｳﾀｲﾘｿｸﾞﾗﾌｨﾉｷﾎﾝﾄｼｸﾐ
副書名	リソグラフィ技術の核心に迫る
著者名	佐藤淳一／著
著者名ヨミ	ｻﾄｳｼﾞｭﾝｲﾁ
出版地	東京
出版者	秀和システム
出版年	2011.10
頁数・図版	２７１ｐ
大きさ	２１ｃｍ
叢書名・叢書番号	Ｈｏｗ－ｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ・
一般注記	文献あり　索引あり
ISBN	4-7980-3063-5
ISBN(新)	978-4-7980-3063-0
本体価格	２０００円
NDC分類(8版)	549.7
NDC分類(9版)	549.7
件名	集積回路
内容紹介	半導体チップの微細回路を生み出すキーテクノロジー「リソグラフィ」技術をわかりやすく解説した入門書。プロセスフローを例にして、基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。
著者紹介	京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年東京電気化学工業（株）入社。８２年ソニー（株）入社。半導体先端テクノロジーズ創立時に出向等。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員。

※内容紹介、著者紹介は（株）日販図書館サービスおよび
（株）トーハンのデータです。