麻蒔立男/著 -- ソフトバンククリエイティブ -- 2010.9

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
一般資料 549 /アサ/ 00110479772 図書 貸出可 利用可 iLisvirtual

資料詳細

マーク種別 JPマーク
マーク番号 21825339
書名 「薄膜」のキホン
書名ヨミ ハクマクノ キホン
副書名 原子に迫る超微細・超高密度の世界
著者名 麻蒔立男 /著  
著者名ヨミ アサマキ タツオ  
出版地 東京
出版者 ソフトバンククリエイティブ
出版年 2010.9
頁数・図版 190p
大きさ 21cm
叢書名・叢書番号 イチバンやさしい理工系・SBE-006
一般注記 文献あり 索引あり
ISBN 4-7973-5713-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
ISBN(新) 978-4-7973-5713-4
本体価格 1500円
NDC分類(8版) 549
NDC分類(9版) 549.8
件名 薄膜
内容紹介 真空の中でプラズマを利用して、新しい素材をつくる薄膜技術。わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面を持つ薄膜技術の全てにわたり、注目すべきポイントに絞ってやさしく図解した入門書。
著者紹介 1934年愛知県生まれ。57年静岡大学工学部卒業後、日本電気(株)に入社、67年から日電バリアンに出向。90~2010年東京理科大学教授ならびに同嘱託教授。日本真空協会個人理事。著書に「真空のはなし」など。

※内容紹介、著者紹介は(株)日販図書館サービスおよび
(株)トーハンのデータです。