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機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理貸出中

近藤英一／著 -- 共立出版 -- 2005.10

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	532 /ｺﾝ/	00109447881	図書	貸出可	貸出中

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マーク種別	JPマーク
マーク番号	20909287
書名	機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
書名ヨミ	ｷｶｲｻﾞｲﾘｮｳｹｲﾉﾀﾒﾉﾏｲｸﾛﾅﾉｶｺｳﾉｹﾞﾝﾘ
著者名	近藤英一／著
著者名ヨミ	ｺﾝﾄﾞｳｴｲｲﾁ
出版地	東京
出版者	共立出版
出版年	2005.10
頁数・図版	２２６ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般注記	文献あり　索引あり
ISBN	4-320-08154-4
本体価格	２８００円
NDC分類(8版)	532
NDC分類(9版)	549.8
件名	薄膜
内容紹介	マイクロ・ナノ加工の要素技術である真空、プラズマ、薄膜、エッチング加工及びフォトリソグラフィについて、その物理・化学の基本原理を、特に薄膜ドライプロセッシングに主眼を置きながら解説する。
著者紹介	１９８４年早稲田大学理工学部卒。８６年同大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、ＩＭＥＣ研究員などを経て、現在、山梨大学助教授。

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