麻蒔 立男/著 -- 日刊工業新聞社 -- 1993.03

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫一般 549.8 /アサ/ 00104381227 図書 貸出可 利用可 iLisvirtual

資料詳細

マーク種別 JPマーク
マーク番号 93031528
書名 超微細加工の基礎
書名ヨミ チョウ ビサイカコウノ キソ
副書名 半導体製造技術
著者名 麻蒔 立男 /著  
著者名ヨミ アサマキ タツオ  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1993.03
頁数・図版 265p
大きさ 21㎝
ISBN 4-526-03284-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
本体価格 3500円
NDC分類(8版) 549.8
件名 半導体
内容細目 各章末:参考文献

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